TY - JOUR AU - Prieto-Novoa, Gina Milena AU - Borja-Goyeneche, Estrella Natali AU - Olaya-Florez, Jhon Jairo PY - 2019/09/25 Y2 - 2024/03/28 TI - Efecto del contenido de Ni en las propiedades ópticas y eléctricas de recubrimientos ZrTiSiNiN depositados por co-sputtering JF - Revista de la Academia Colombiana de Ciencias Exactas, Físicas y Naturales JA - Rev. Acad. Colomb. Cienc. Ex. Fis. Nat. VL - 43 IS - 168 SE - Ciencias físicas DO - 10.18257/raccefyn.840 UR - https://raccefyn.co/index.php/raccefyn/article/view/840 SP - 366-374 AB - <p>Películas delgadas de ZrTiSiNiN fueron depositadas sobre sustratos de vidrio y silicio mediante co-sputtering reactivo con magnetrón usando blancos de Ti5Si2, Zr. En esta investigación se varío el contenido de Ni en los recubrimientos mediante la adición de cubos de Ni ubicados sobre el blanco de Zr. La morfología superficial, la estructura cristalina y el espesor de las películas fueron evaluadas mediante microscopía electrónica de barrido (SEM), difracción de rayos X (XRD) e interferometría respectivamente. La resistividad eléctrica se midió mediante el método de cuatro puntas y sus propiedades ópticas se caracterizaron por espectroscopía ultravioleta / visible (UV/Vis). Con base en los resultados de XRD se observó que el Níquel actúa como refinador de grano al lograr disminuir el tamaño de cristalito de 27 nm hasta 15 nm cuando la concentración de Níquel aumenta de 0 at% a 6,8 at%. Tanto la resistividad eléctrica y el “band gap” óptico de los recubrimientos aumentaron con la disminución del tamaño del cristalito como resultado del aumento de la densidad de límites de grano y del efecto de confinamiento cuántico.</p> ER -